Измерение дефектов ростовой поверхности тонких пленок.

Исследование дефектности тонкопленочного покрытия, осажденного плазменным методом

Современный подход к созданию структурно совершенных функциональных покрытий предусматривает исследование причин дефектности пленки в процессе ее формирования, управление процессом роста тонкопленочного покрытия со стабильными функциональными свойствами.

Исследование дефектности тонкопленочного покрытия проведено на анализаторе изображений «ImageSoft - Structure».

 

Ввод изображения Выделение дефекта Результаты измерений

1

2

3

 

Границы дефектной пленки в виде объемной полосы четкие. Выделение произведено достаточно точно. Аналогично были исследованы все дефекты пленки. Получены статистические данные исследования.

Структура пленок исследовалась в зависимости от технологических параметров процесса формирования для установления причин дефектности пленок и получения их с необходимыми параметрами. Установлена взаимосвязь параметров технологического процесса и структурой осаждаемых пленок. Предупреждение дефектности формируемых упрочняющих пленок привело к увеличению их эффективности.